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当寒流席卷全国，在大幅降温情况下，室温只有零度左右，但是广东真空设备要求的最低工作温度都是5℃，在低于该温度的环境下使用、特别是重新启动真空设备有可能会对其造成严重的损坏，因此需要特别注意并提前采取相应措施。
使用水冷的真空设备，如果真空设备所在的厂房温度低于零度，冷却水可能会在冷却盘管或通道内结冰，并发生胀裂，对于这种情况，请密切关注冷却水的进水温度，在温度过低时，可以适当调小冷却水的流量；有些冷却塔在室外而设备在室内的设备，室外的管路，特别是阀门等处，非常容易结冰堵塞，这种情况需要采取为室外管路缠绕防冻棉等措施，并密切关注通过设备的冷却水的流量。
油旋片泵在低温下，润滑油会变得特别粘稠，甚至发生结沙、结冰等，此时启动旋片泵会造成电机启动电流过大甚至烧毁、轴封撕裂损坏、联轴器损坏甚至转轴扭断等故障，在5~10℃摄氏度启动油旋片泵时，可以采取点动的方式给电几次后再让其连续运转；一定要避免在低于5℃的环境直接启动油旋片泵，如果需要在低温下间歇使用，可以让其持续运行以避免低温启动，也可以把泵放在温度比较高的室内一段时间后，启动并开启气镇运行半个小时以上，然后再转移到室外并立即启动。
涡旋干泵一般采取干式润滑的轴承，虽然不太明显，温度过低时启动仍然会有短时润滑不良、启动电流过大的问题。另外，涡旋干泵装配精度很高，因为其工作时动盘和静盘上的涡旋线需要始终保持一个很小的间隙；在超出要求的低温条件下，内部的间隙有可能会低于正常值，从而造成异响甚至摩擦损伤。
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